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晶盛机电等“晶圆上料装置及清洗机”专利获授权:上料机
天眼查APP显示，近日，杭州中为光电技术有限公司,浙江求是半导体设备有限公司,浙江晶盛机电股份有限公司申请的“晶圆上料装置及清洗机”专利获授权上料机。摘要显示，本申请提供了一种晶圆上料装置及清洗机，属
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天眼查APP显示，近日，杭州中为光电技术有限公司,浙江求是半导体设备有限公司,浙江晶盛机电股份有限公司申请的“晶圆上料装置及清洗机”专利获授权上料机。摘要显示，本申请提供了一种晶圆上料装置及清洗机，属